Semiconductor measurement technology User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology /Jeremiah R. Lowney and Egon Marx.
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Publicerad:Washington,Publicerad:1994
-
iv, 39 s.ill., diagr., tab.
Nummerbeteckningar
Kompletterande språkuppgifter
Klassifikation
Serie
-
NIST special publication,99-0824194-X ;400:9540095
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lowney, Jeremiah R.
(medarbetare)
-
Marx, Egon
(medarbetare)
-
User's manual for the program MONSEL-1
Sammanhörande titlar
-
Del av/supplement till:Semiconductor measurement technologyWashington, 1974-National Bureau of Standards special publication ; 400:1-
Seriebiuppslag
-
NIST special publication,99-0824194-X ;400:9540095
Bibliotekens lokala klassifikation, anmärkningar och ämnesord
-
L621.315.592(021)
-
L53.08(021)
-
LHalvledare: elektroteknik
-
LMätteknik
Inställningar
Hjälp
Titeln finns på 1 bibliotek.
Ange som favorit
-
Lunds universitets bibliotek, Universitetsbiblioteket, UB (L)Ange som favorit
-
Titeln i bibliotekets lokala katalog
-
-
Placering: pP 3521:400
-
Placering: 0200 pP 3521:400:95
-
Bestånd: 1974-
Utlånad?Öppettider, adress m.m.