Gas phase chemical vapor deposition chemistry of triethylboron probed by boron-carbon thin film deposition and quantum chemical calculations [Elektronisk resurs]
-
- Imam, Mewlude, 1983- (författare)
-
-
Alternativt namn: Mewlude Imam, 1983-
-
Alternativt namn: Maiwulidan Yimamu, 1983-
-
Alternativt namn: Yimamu, Maiwulidan, 1983-
-
Gaul, Konstantin (författare)
-
Stegmueller, Andreas (författare)
-
Höglund, Carina (författare)
-
Jensen, Jens (författare)
-
Hultman, Lars (författare)
-
Birch, Jens (författare)
-
Tonner, Ralf (författare)
-
Pedersen, Henrik (författare)
-
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
Linköpings universitet Tekniska fakulteten (utgivare)
-
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
- Publicerad: ROYAL SOC CHEMISTRY, 2015
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Materials Chemistry C. - 2050-7526. ; 3:41, 10898-10906
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
- Relaterad länk:
-
http://www.liu.se (web site)
Sammanfattning
Ämnesord
Stäng
- We present triethylboron (TEB) as a single-source precursor for chemical vapor deposition (CVD) of BxC thin films and study its gas phase chemistry under CVD conditions by quantum chemical calculations. A comprehensive thermochemical catalogue for the species of the gas phase chemistry of TEB is examined and found to be dominated by beta-hydride eliminations of C2H4 to yield BH3. A complementary bimolecular reaction path based on H-2 assisted C2H6 elimination to BH3 is also significant at lower temperatures in the presence of hydrogen. Furthermore, we find a temperature window of 600-1000 degrees C for the deposition of X-ray amorphous BxC films with 2.5 less than= x less than= 4.5 from TEB. Films grown at temperatures below 600 degrees C contain high amounts of H, while temperatures above 1000 degrees C result in C-rich films. The film density and hardness are determined to be in the range of 2.40-2.65 g cm(-3) and 29-39 GPa, respectively, within the determined temperature window.
Ämnesord
- Natural Sciences (ssif)
- Physical Sciences (ssif)
- Naturvetenskap (ssif)
- Fysik (ssif)
- Natural Sciences (ssif)
- Chemical Sciences (ssif)
- Naturvetenskap (ssif)
- Kemi (ssif)
Genre
- government publication (marcgt)
Inställningar
Hjälp
Ingår i annan publikation. Gå till titeln
Journal of Materials Chemistry C