Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:6f12wmpf4j0t3q2d > Site-controlled gro...

Site-controlled growth of GaN nanorod arrays by magnetron sputter epitaxy [Elektronisk resurs]

Serban, Elena Alexandra, 1988- (författare)
Palisaitis, Justinas, 1983- (författare)
Persson, Per Ola Åke, 1971- (författare)
Hultman, Lars, 1960- (författare)
Birch, Jens, 1960- (författare)
Hsiao, Ching-Lien, 1975- (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Linköpings universitet Tekniska fakulteten (utgivare)
Publicerad: Elsevier, 2018
Engelska.
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090.
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Catalyst-free GaN nanorod regular arrays have been realized by reactive magnetron sputter epitaxy. Two nanolithographic methods, nanosphere lithography (NSL) and focused ion beam lithography (FIBL), were applied to pattern Si substrates with TiNx masks. The growth temperature was optimized for achieving selectivity and well-faceted nanorods grown onto the NSL-patterned substrates. With increasing temperature from 875 to 985 °C, we observe different growth behaviors and associate them with selective insensitive, diffusion-dominated, and desorption-dominated zones. To further achieve site-specific and diameter control, these growth parameters were transferred onto FIBL-patterned substrates. Further investigation into the FIBL process through tailoring of milling current and time in combination with varying nanorod growth temperature, suggests that minimization of mask and substrate damage is the key to attain uniform, well-defined, single, and straight nanorods. Destruction of the mask results in selective area growth failure, while damage of the substrate surface promotes inclined nanorods grown into the openings, owning to random oriented nucleation. 

Ämnesord

Natural Sciences  (hsv)
Physical Sciences  (hsv)
Condensed Matter Physics  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
Fysik  (hsv)
Den kondenserade materiens fysik  (hsv)

Indexterm och SAB-rubrik

Gallium nitride
Magnetron sputter epitaxy
Selective-area growth
Nanorods
Lithography
Focused ion beam
Nanosphere
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy