Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22193308 > Growth and characte...

Growth and characterization of TiN/SiN(001)superlattice films [Elektronisk resurs]

Söderberg, Hans (författare)
Odén, Magnus (författare)
Flink, Axel (författare)
Birch, Jens (författare)
Persson, Per O.Å (författare)
Beckers, Manfred (författare)
Hultman, Lars (författare)
Luleå tekniska universitet Institutionen för teknikvetenskap och matematik (utgivare)
2007
Engelska.
Ingår i: Journal of Materials Research. - 0884-2914. ; 22:11, 3255-3264
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • We report the layer structure and composition in recently discovered TiN/SiN(001) superlattices deposited by dual-reactive magnetron sputtering on MgO(001) substrates. High-resolution transmission electron microscopy combined with Z-contrast scanning transmission electron microscopy, x-ray reflection, diffraction, and reciprocal-space mapping shows the formation of high-quality superlattices with coherently strained cubic TiN and SiN layers for SiN thickness below 7-10 Å. For increasing SiN layer thicknesses, a transformation from epitaxial to amorphous SiNx (x 1) occurs during growth. Elastic recoil detection analysis revealed an increase in nitrogen and argon content in SiNx layers during the phase transformation. The oxygen, carbon, and hydrogen contents in the multilayers were around the detection limit (∼0.1 at.%) with no indication of segregation to the layer interfaces. Nanoindentation experiments confirmed superlattice hardening in the films. The highest hardness of 40.4 ± 0.8 GPa was obtained for 20-Å TiN with 5-Å-thick SiN(001) interlayers, compared to monolithic TiN at 20.2 ± 0.9 GPa. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Materials Engineering  (hsv)
Other Materials Engineering  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
Materialteknik  (hsv)
Annan materialteknik  (hsv)
Materialteknik  (ltu)
Engineering Materials  (ltu)
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy