Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22143267 > Spectroscopic ellip...

Spectroscopic ellipsometry characterization of amorphous carbon and amorphous,graphitic and fullerene-like carbon nitride thin films [Elektronisk resurs]

Berlind, Torun 1965- (författare)
Furland, Andrej (författare)
Czigany, Zs. (författare)
Neidhardt, Jörg (författare)
Hultman, Lars (författare)
Arwin, Hans (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Elsevier 2009
Engelska.
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090. ; 517:24, 6652-6658
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Carbon nitride (CNx) and amorphous carbon (a-C) thin films are deposited by reactive magnetron sputtering onto silicon (001) wafers under controlled conditions to achieve amorphous, graphitic and fullerene-like microstructures. As-deposited films are analyzed by Spectroscopic Ellipsometry in the UV–VIS–NIR and IR spectral ranges in order to get further insight into the bonding structure of the material. Additional characterization is performed by High Resolution Transmission Electron Microscopy, X-ray Photoelectron Spectroscopy, and Atomic Force Microscopy. Between eight and eleven resonances are observed and modeled in the ellipsometrically determined optical spectra of the films. The largest or the second largest resonance for all films is a feature associated with C–N or C–C modes. This feature is generally associated with sp3 C–N or sp 3 C–C bonds, which for the nitrogen-containing films instead should be identified as a three-fold or two-fold sp 2 hybridization of N, either substituted in a graphite site or in a pyridine-like configuration, respectively. The π→πlow asterisk electronic transition associated with sp 2 C bonds in carbon films and with sp 2 N bonds (as N bonded in pyridine-like manner) in CN x films is also present, but not as strong. Another feature present in all CN x films is a resonance associated with nitrile often observed in carbon nitrides. Additional resonances are identified and discussed and moreover, several new, unidentified resonances are observed in the ellipsometric spectra. 

Ämnesord

Natural Sciences  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
NATURAL SCIENCES  (svep)
NATURVETENSKAP  (svep)

Indexterm och SAB-rubrik

Carbon nitride; Amorphous carbon; Spectroscopic ellipsometry; Spectral decomposition; Fullerene-like; Structural properties; X-ray photoelectron spectroscopy; Transmission electron microscopy
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy