Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22116199 > High-rate depositio...

High-rate deposition of amorphous and nanocomposite Ti-Si-C multifunctional coatings [Elektronisk resurs]

Lauridsen, Jonas (författare)
Eklund, Per (författare)
Joelsson, T. (författare)
Ljungcrantz, H. (författare)
Öberg, Å. (författare)
Lewin, E. (författare)
Jansson, U. (författare)
Beckers, Manfred (författare)
Högberg, Hans (författare)
Hultman, Lars (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Elsevier 2010
Engelska.
Ingår i: Surface & Coatings Technology. - 0257-8972. ; 205:2, 299-305
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Amorphous (a) and nanocomposite Ti–Si–C coatings were deposited at rates up to 16 μm/h by direct current magnetron sputtering from a Ti 3 SiC 2 compound target, using an industrial pilot-plant system, onto high-speed steel, Si, and SiO 2 substrates as well as Ni-plated Cu cylinders, kept at a temperature of 200 or 270 °C. Electron microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, and X-ray diffraction analyses showed that TiC/a-C/a-SiC nanocomposites were formed consisting of textured TiC nanocrystallites (nc) embedded in a matrix of a-C and a-SiC. Elastic recoil detection analysis showed that coatings deposited at a target-to-substrate distance of 2 cm and an Ar pressure of 10 mTorr have a composition close to that of the Ti 3 SiC 2 compound target, as explained by ballistic transport of the species. Increased target-to-substrate distance from 2 cm to 8 cm resulted in a higher carbon-to-titanium ratio in the coatings than for the Ti 3 SiC 2 compound target, due to different gas-phase scattering properties between the sputtered species. The coating microstructure could be modified from nanocrystalline to predominantly amorphous by changing the pressure and target-to-substrate conditions to 4 mTorr and 2 cm, respectively. A decreased pressure from 10 mTorr to 4 or 2 mTorr at a target-to-substrate distance of 2 cm decreased the deposition rate up to a factor of ~7 as explained by resputtering and an increase in the plasma sheath thickness. The coatings exhibited electrical resistivity in the range 160–800 μΩ cm, contact resistance down to 0.8 mΩ at a contact force of 40 N, and nanoindentation hardness in the range of 6–38 GPa. 

Ämnesord

Natural Sciences  (hsv)
Physical Sciences  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
Fysik  (hsv)
NATURAL SCIENCES  (svep)
Physics  (svep)
NATURVETENSKAP  (svep)
Fysik  (svep)

Indexterm och SAB-rubrik

Nanocomposites
TiSiC coatings
pilot plant
magnetron sputtering
resistivity
electron microscopy
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy