Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22109006 > Selection of metal ...

Selection of metal ion irradiation for controlling Ti1-xAlxN alloy growth via hybrid HIPIMS/magnetron co-sputtering [Elektronisk resurs]

Greczynski, Grzegorz (författare)
Lu, Jun (författare)
Johansson, M (författare)
Jensen, Jens (författare)
Petrov, Ivan (författare)
Greene, Joseph E (författare)
Hultman, Lars (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Elsevier 2012
Engelska.
Ingår i: Vacuum. - 0042-207X. ; 86:8, 1036-1040
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • We demonstrate, for the first time, the growth of metastable single-phase NaCl-structure high-AlN-content Ti1-xAlxN alloys (x andlt;= 0.64) which simultaneously possess high hardness and low residual stress. The films are grown using a hybrid approach combining high-power pulsed magnetron (HPPMS/HIPIMS) and dc magnetron sputtering of opposing metal targets. With HIPIMS applied to the Al target, Aln+ ion irradiation (dominated by Aln+) of the growing film results in alloys 0.55 andlt;= x andlt;= 0.60 which exhibit hardness H similar to 30 GPa and low stress sigma = 0.2-0.7 GPa, tensile. In sharp contrast, films with corresponding AlN concentrations grown with HIPIMS applied to the Ti target, giving rise to Tin+ ion irradiation (with a significant Ti2+ component), are two-phase - cubic (Ti,Al)N and hexagonal AlN - with low hardness, H = 18-19 GPa, and high compressive stress ranging up to 2.7 GPa. Annealing alloys grown with HIPIMS applied to the Al target results in age hardening due to spinodal decomposition; the hardness of Ti0.41Al0.59N increases from 30 to 33 GPa following a 900 degrees C anneal. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
TECHNOLOGY  (svep)
TEKNIKVETENSKAP  (svep)

Indexterm och SAB-rubrik

HIPIMS
HPPMS
TiAlN
Ionized PVD
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy