Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22100086 > Room-temperature he...

Room-temperature heteroepitaxy of single-phase Al1-xInxN films with full composition range on isostructural wurtzite templates [Elektronisk resurs]

Hsiao, Ching-Lien (författare)
Palisaitis, Justinas (författare)
Junaid, Muhammad (författare)
Persson, Per O A (författare)
Jensen, Jens (författare)
Zhao, Qingxiang (författare)
Hultman, Lars (författare)
Chen, Li-Chyong (författare)
Chen, Kuei-Hsien (författare)
Birch, Jens (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Institutionen för teknik och naturvetenskap (utgivare)
Alternativt namn: ITN
Alternativt namn: Linköping University. Department of Science and Technology
Elsevier 2012
Engelska.
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090. ; 524, 113-120
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Al1-xInxN heteroepitaxial layers covering the full composition range have been realized by magnetron sputter epitaxy on basal-plane AlN, GaN, and ZnO templates at room temperature (RT). Both Al1-xInxN single layers and multilayers grown on these isostructural templates show single phase, single crystal wurtzite structure. Even at large lattice mismatch between the film and the template, for instance InN/AlN (similar to 13% mismatch), heteroepitaxy is achieved. However, RT-grown Al1-xInxN films directly deposited on non-isostructural c-plane sapphire substrate exhibit a polycrystalline structure for all compositions, suggesting that substrate surface structure is important for guiding the initial nucleation. Degradation of Al1-xInxN structural quality with increasing indium content is attributed to the formation of more point-and structural defects. The defects result in a prominent hydrostatic tensile stress component, in addition to the biaxial stress component introduced by lattice mismatch, in all RT-grown Al1-xInxN films. These effects are reflected in the measured in-plane and out-of-plane strains. The effect of hydrostatic stress is negligible compared to the effects of lattice mismatch in high-temperature grown AlN layers thanks to their low amount of defects. We found that Vegards rule is applicable to determine x in the RT-grown Al1-xInxN epilayers if the lattice constants of RT-sputtered AlN and InN films are used instead of those of the strain-free bulk materials. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
TECHNOLOGY  (svep)
TEKNIKVETENSKAP  (svep)

Indexterm och SAB-rubrik

Magnetron sputter epitaxy
Aluminum indium nitride
Transmission electron microscopy
Sputtering
Vegards rule
Strain
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy