Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22097765 > Direct current magn...

Direct current magnetron sputtered ZrB 2 thin films on 4H-SiC(0001) and Si(100) [Elektronisk resurs]

Tengdelius, Lina (författare)
Samuelsson, Mattias (författare)
Jensen, Jens (författare)
Lu, Jun (författare)
Hultman, Lars (författare)
Forsberg, Urban (författare)
Janzén, Erik (författare)
Högberg, Hans (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
2014
Engelska.
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090. ; 550, 285-290
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • ZrB 2 thin films have been synthesized using direct current magnetron sputtering from a ZrB 2 compound target onto 4H-SiC(0001) and Si(100) substrates kept at different temperatures (no heating, 400 °C, and 550 °C), and substrate bias voltage (-20 V to -80 V). Time-of-flight energy elastic recoil detection analysis shows that all the films are near stoichiometric and have a low degree of contaminants, with O being the most abundant (< 1 at.%). The films are crystalline, and their crystallographic orientation changes from 0001 to a more random orientation with increased deposition temperature. X-ray diffraction pole figures and selected area electron diffraction patterns of the films deposited without heating reveal a fiber-texture growth. Four point probe measurements show typical resistivity values of the films ranging from ~95 to 200 μΩcm, decreasing with increased growth temperature and substrate bias. 

Ämnesord

Natural Sciences  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)

Indexterm och SAB-rubrik

Zirconium diboride; Silicon carbide; Thin films; Compound target; Industrial scale deposition system; Crystalline films
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy