Sök i LIBRIS databas



Sökning: onr:22096307 > Reactive sputtering...

Reactive sputtering of NbCx-based nanocomposite coatings [Elektronisk resurs] An up-scaling study

Nedfors, N. (författare)
Tengstrand, Olof (författare)
Flink, Axel (författare)
Andersson, A. M. (författare)
Eklund, Per (författare)
Hultman, Lars (författare)
Jansson, U. (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
Elsevier 2014
Ingår i: Surface & Coatings Technology. - 0257-8972. ; 253, 100-108
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
  • Nanocomposite Nb-C coatings, with a C/Nb ratio of 0.93-1.59, have been deposited by reactive sputtering in a commercial sputtering system where the C is supplied from an acetylene gas at deposition rates of up to 200 nm/min. The coatings are compared to non-reactively sputtered Nb-C coatings deposited from Nb and C targets in lab-scale equipment at deposition rates two orders of magnitude lower. X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, and electron microscopy are used to conclude that all coatings consist of nanoctystalline Nbc(x) grains (nc-NbCx) embedded in a matrix of amorphous C (a-C). The coating performance was evaluated in terms of their mechanical, tribological, and electrical properties. The chemical stability of the coatings was evaluated by exposure to a flowing mixture of corrosive gases. It is found that the coatings have comparable microstructure and performance to the coatings deposited by non-reactive sputtering. The high deposition rate and presence of different C-radicals on the coating surface during film growth for the reactively sputtered coatings are believed to result in a smaller NbCx grain size compared to the non-reactively sputtered coatings (reactive process: 10-3 nm, non-reactive process: similar to 75-3 nm). This difference results in a thinner a-C matrix of about 0.2 nm, which is not varying with C content for the reactively sputtered coatings. The thinner a-C matrix is reflected in coating properties, with a higher conductivity and slightly higher hardness. The coating richest in C content (C/Nb ratio 1.59) shows the lowest friction (0.23), wear rate (0.17 x 10(-6) mm(3)/mN), and contact resistance before (11 m Omega at 10 N) and after (30 m Omega at 10 N) the chemical stability test. These results imply that nc-NbCx/a-C coatings of this composition are a good candidate for electrical contact applications, and that up-scaling of the process is achievable. 


Natural Sciences  (hsv)
Physical Sciences  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
Fysik  (hsv)

Indexterm och SAB-rubrik

Thin film; Carbide; Electrical contacts; Contact resistance; Friction
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Fel i posten?
Teknik och format
Sök utifrån
LIBRIS söktjänster

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy