Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22084125 > Dynamics of Ti, N, ...

Dynamics of Ti, N, and TiNx (x=1-3) admolecule transport on TiN(001) surfaces [Elektronisk resurs]

Sangiovanni, Davide (författare)
Edström, Daniel (författare)
Hultman, Lars (författare)
Chirita, Valeriu (författare)
Petrov, Ivan (författare)
Greene, Joseph E (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
American Physical Society 2012
Engelska.
Ingår i: Physical Review B. Condensed Matter and Materials Physics. - 1098-0121. ; 86:15, 155443
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • We use classical molecular dynamics and the modified embedded atom method formalism to investigate the dynamics of atomic-scale transport on a low-index model compound surface, TiN(001). Our simulations, totaling 0.25 mu s for each case study, follow the pathways and migration kinetics of Ti and N adatoms, as well as TiNx complexes with x = 1-3, which are known to contribute to the growth of TiN thin films by reactive deposition from Ti, N-2, and N precursors. The simulations are carried out at 1000 K, within the optimal range for TiN(001) epitaxial growth. We find Ti adatoms to be the highest-mobility species on TiN(001), with the primary migration path involving jumps of one nearest-neighbor distance d(NN) between adjacent fourfold hollow sites along in-plane andlt; 100 andgt; channels. Long jumps, 2d(NN), are also observed, but at much lower frequency. N adatoms, which exhibit significantly lower migration rates than Ti, diffuse along in-plane andlt; 110 andgt; directions and, when they intersect other N atoms, associatively form N-2 molecules, which desorb at kinetic rates. As expected, TiN and TiN3 complexes migrate at even lower rates with complex diffusion pathways involving rotations, translations, and rototranslations. TiN2 trimers, however, are shown to have surprisingly high diffusion rates, above that of N adatoms and almost half that of Ti adatoms. TiN3 motion is dominated by in-place rotation with negligible diffusion. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
TECHNOLOGY  (svep)
TEKNIKVETENSKAP  (svep)
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy