Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22021404 > Peak amplitude of t...

Peak amplitude of target current determines deposition rate loss during high power pulsed magnetron sputtering [Elektronisk resurs]

Greczynski, Grzegorz (författare)
Hultman, Lars (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska fakulteten (utgivare)
PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD 2016
Engelska.
Ingår i: Vacuum. - 0042-207X. ; 124
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Film growth rates during DCMS and HIPIMS sputtering in Ar are measured for ten technologically relevant elemental target materials: Al, Si, Ti, Cr, Y, Zr, Nb, Hf, Ta, and W, spanning wide range of masses, ionization energies, and sputter yields. Surprisingly, the ratio of power-normalized HIPIMS and DCMS rates a decays exponentially with increasing peak target current density J(T)(max) for all metals. The effect of J(T)(max) on alpha is dramatic: alpha approximate to 1 in the limit of lowest J(T)(max) values tested (0.04 A/cm(2)) and decreases to only 0.12 with J(T)(max) similar to 3 A/cm(2). With the exception of Al and Si, alpha(J(T)(max)) curves overlap indicating that the debated rate loss in HIPIMS is to large extent determined by the peak amplitude of the HIPIMS target current for all tested metals. Back attraction of ionized target species is responsible for such large variation in a. (C) 2015 Elsevier Ltd. All rights reserved. 

Ämnesord

Natural Sciences  (hsv)
Physical Sciences  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
Fysik  (hsv)

Indexterm och SAB-rubrik

HIPIMS; Growth rate; Deposition rate; Magnetron sputtering; Ionized PVD
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy