Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:21872444 > Characterization of...

Characterization of plasma chemistry and ion energy in cathodic arc plasma from Ti-Si cathodes of different compositions [Elektronisk resurs]

Eriksson, Anders (författare)
Zhirkov, I. (författare)
Dahlqvist, Martin (författare)
Jensen, Jens (författare)
Hultman, Lars (författare)
Rosen, J. (författare)
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik (tidigare namn)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi (tidigare namn)
Alternativt namn: IFM
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
Alternativt namn: LiTH
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
2013
Engelska.
Ingår i: Journal of Applied Physics. - 0021-8979. ; 113:16
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Arc plasma from Ti-Si compound cathodes with up to 25 at. % Si was characterized in a DC arc system with respect to chemistry and charge-state-resolved ion energy. The plasma ion composition showed a lower Si content, diverging up to 12 at. % compared to the cathode composition, yet concurrently deposited films were in accordance with the cathode stoichiometry. Significant contribution to film growth from neutrals is inferred besides ions, since the contribution from macroparticles, estimated by scanning electron microscopy, cannot alone account for the compositional difference between cathode, plasma, and film. The average ion charge states for Ti and Si were higher than reference data for elemental cathodes. This result is likely related to TiSi x phases of higher cohesive energies in the compound cathodes and higher effective electron temperature in plasma formation. The ion energy distributions extended up to ∼200 and ∼130 eV for Ti and Si, respectively, with corresponding average energies of ∼60 and ∼30 eV. These averages were, however, not dependent on Si content in the cathode, except for 25 at. % Si where the average energies were increased up to 72 eV for Ti and 47 eV for Si. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy